半导体精密微光刻机减震器液压缸推力不足是什

半导体精密微光刻机减震器液压缸推力不足是什么原因？

漏油原因：液压缸与活塞杆中间因损坏而间隙太大。假如活塞杆配有密封圈，会因为密封圈损坏或衰老而丧失封口作用。

对策：拆换活塞杆或密封圈，保持间隙。

假如只经常应用气缸某一位置，部分损坏比较严重，间隙扩大，气缸泄露。这时，可以再次研磨缸孔并重新部署活塞杆。

气缸内部构造不一样，姿势摩擦阻力太大，使气缸速度随日程安排位置而转变。

大兰液压油缸

发生这种情况的原因：听说是组装品质不行导致的。（液压缸密封性过紧，液压缸过长，造成滚动位置工作压力太大）或废弃物进入气缸滚动位置（特别是颗粒废弃物）。

假如调速阀进入脏物，阀心处于开与关状况减震器液压缸压差，液压油全自动流进机油箱，液压油缸内并没有液压油注入。假如负载太大，虽然调速阀的调整工作压力已实现较大额定值，但液压缸仍不可以获得不断姿势所需的力，液压缸不动。假如调节工作压力低，没法做到负载所需的驱动力，则为工作压力不够，驱动力不够。这类问题都产生在闸阀上减震器液压缸压差，因此应当检查闸阀。

半导体精密微光刻机减震器液压缸推力不足是什么原因？

1.气缸里有大气或油泵提供的油不够，会让气缸姿势不稳定（或慢）。

排除主缸气体或检查油泵。

2.也有一种情况是压力表上表明的气缸压力充足了，但是气缸或是推不动。

发生这种情况的原因：一般是减震器活塞杆侧面与缸盖触碰紧密，工作压力油不能加入或合理工作上总面积太小，没法产生充足的驱动力使气缸运动。